中科院微電子臺式勻膠機/旋涂?jì)x/涂膠機

中國科學(xué)院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂?jì)x/涂膠機

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 

我研究室生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉速穩定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產(chǎn)品主要特點(diǎn) 

1、開(kāi)關(guān)電流調速，穩定性能更好，轉速調節以數字顯示為準。 

2、轉速在500～8000轉／分范圍內非常穩定。   

3、采用雙轉速。在啟動(dòng)之后，先以低速運轉，使膠攤開(kāi)，然后自動(dòng)轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時(shí)間分別可調，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。 

4、具有定時(shí)功能。  

5、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺勻膠機工作，適合流水線(xiàn)的工藝，提高了效率。   

7、在安裝結構上，采取了減振措施，保證了在運轉時(shí)噪音低。 

性能指標：